硅油在扩散泵系统中的应用
四甲基四苯基三硅氧烷和三甲基五苯基三硅氧烷作为扩散泵油，能够实现高达10-9至10-8Pa帕的极高真空度。得益于硅油的卓越耐热性、耐热氧化性和化学稳定性，以及其非腐蚀性特点，硅油在耐久性方面相较于传统的石油类或脂肪酸酯类扩散泵油展现出显著优势。 在扩散泵的运行过程中，即使在15分钟的运行后不切断加热器（450瓦特），通过使用空气恢复至常压并保持1分钟，再继续运转，这样的周期性操作也不会影响硅油的性能。
热载体的应用
硅油的耐热氧化性好，蒸气压低，闪点高，可用作各种高温浴及高温载热体。 二甲基硅油能够在空气中175℃以下长期稳定使用，而甲基苯基硅油更是可以在200℃的高温下长期使用，这使得它们成为高温应用中的理想选择。 通过向二甲基硅油和甲基苯基硅油中添加特定的耐热性添加剂，硅油的适用温度范围可以进一步提高。这样的改性硅油可以被用作橡胶连续硫化设备的热载体、塑料挤出机的热载体、石油化工设备的热载体，以及太阳能系统中的集热用热载体，从而扩展了硅油在工业应用中的使用范围。